8月14日，國務(wù)院國資委官網(wǎng)發(fā)布消息，由中國化工黎明化工研究設(shè)計(jì)院承擔(dān)的國家科技重大專項(xiàng)項(xiàng)目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”通過國家重大專項(xiàng)項(xiàng)目組測試與評審，標(biāo)志著我國極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需高純度含氟電子氣體實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。目前，黎明院高純四氟化碳和六氟化硫的年產(chǎn)能可達(dá)2000噸，可完全實(shí)現(xiàn)對進(jìn)口產(chǎn)品的替代。
華創(chuàng)證券指出，集成電路是信息社會的根基。高純度含氟電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必需的清洗和蝕刻氣體，在芯片制作過程中保障極大規(guī)模集成電路的生成，確保電路有效發(fā)揮作用。隨著極大規(guī)模集成電路技術(shù)的提升，芯片制程向14納米甚至7納米邁進(jìn)，對電子氣體的純度要求越來越高。 ……
網(wǎng)安備51019002001697號
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